캘리퍼 배열
캘리퍼 배열은 1D 커널을 이용하여 개별 캘리퍼 내에서 경계 정점을 감지하는 경계 모델 방식을 이용하여 이미지 영역 내에서 경계를 절연시킬 때 사용합니다. 캘리퍼 배열은 관심있는 경계를 포함하는 이미지 부분의 1D 표현을 만들어 냅니다. 1D 이미지는 관심있는 경계뿐만 아니라 원래의 이미지에서 노이즈와 기타 원하지 않은 정보로 인해 야기된 다른 경계까지 포함하게 됩니다. 캘리퍼 배열을 활용하여 도구의 경계 탭에서 캘리퍼 크기, 경계 너비 및 최소 대비 매개변수를 1D 이미지에 적용하여 관심있는 경계의 강도는 증가시키면서 동시에 이미지 노이즈는 감소시킵니다.
배열의 각 캘리퍼는 개별적으로 평가되며, 그 안의 경계 후보들은 어떤 경계를 선택할지 여부를 결정하기 위해 채점됩니다. 위치 결함에 대해, 가장 잘 맞는 선이 각각의 발견된 경계를 기반으로 만들어지고 결함은 지정된 허용오차로부터의 편차에 대해 발견된 경계를 가장 잘 맞는 선과 비교하여 결정합니다. 너비 결함의 경우, 캘리퍼 내에서 발견된 두 개의 경계 간의 거리를 이 거리 결정을 위해 계산하고 결함은 이 거리와 예상 범위를 비교하여 결정합니다.
영역 내에서의 캘리퍼 배열은 감지 가능한 결함 및/또는 갭의 크기를 정의합니다. 감지 가능한 결함 또는 캡의 크기는 경계를 따라 배치되어 있는 캘리퍼의 수에 의해 결정되는 감지될 수 있는 경계의 수에 따라 결정됩니다. 캘리퍼는 모든 캘리퍼 표시 확인란이 활성화된 경우(기본값은 비활성), 빨간색 사각형으로 영역 내에 표시됩니다.